各種真空泵的工作原理
CG-17玻璃三級(jí)高真空油�(kuò)散泵
GG-17玻璃膨脹系數(shù)�,能更好地耐受很高的溫度差變,故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更�(zhǎng)。該泵適用于電子工業(yè),如電子�。顯像管。X光管,以及半�(dǎo)體單晶硅的冶煉提純,高沸�(diǎn)的油脂蒸餾提純分�,日光燈,保溫瓶高真空排氣的儀��
工作原理
先由�(zhuǎn)�(dòng)真空泵把系統(tǒng)抽到10-2Pa�(kuò)散泵油被加熱沸騰,以高�?gòu)膰姵龅挠驼羝鞑粩鄬⑾到y(tǒng)�(nèi)氣體分子帶到泵的�(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達(dá)到機(jī)械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真��
水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原�
水環(huán)真空�(�(jiǎn)�(chēng)水環(huán)�)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空�2000~4000Pa,串�(lián)大氣噴射器可�(dá)270~670Pa。水�(huán)泵也可用作壓縮機(jī),稱(chēng)為水�(huán)式壓縮機(jī),是屬于低壓的壓縮機(jī),其壓力范圍�1~2×105Pa表壓��
水環(huán)泵最初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機(jī)�、礦山、輕�、醫(yī)藥及食品等許多工�(yè)部門(mén)。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中,如真空�(guò)�、真空引�、真空送料、真空蒸�(fā)、真空濃�、真空回潮和真空脫氣�,水�(huán)泵得到廣泛的�(yīng)�。由于真空應(yīng)用技�(shù)的飛躍發(fā)�,水�(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水�(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易�、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增��
在泵體中裝有適量的水作為工作�。當(dāng)葉輪按圖中順�(shí)�?lè)较蛐D(zhuǎn)�(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一�(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水�(huán)的下部分�(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相�,水�(huán)的上�?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接�(�(shí)際上葉片在水�(huán)�(nèi)有一定的插入深度)。此�(shí)葉輪輪轂與水�(huán)之間形成一�(gè)月牙形空�,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干�(gè)小腔。如果以葉輪的下�0°為起�(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)�180°�(shí)小腔的容積由小變�,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸�,當(dāng)吸氣終了�(shí)小腔則與吸氣口隔�;�(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)�(shí),小腔由大變�,使氣體被壓�;�(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵��
綜上所�,水�(huán)泵是靠泵腔容積的變化�(lái)�(shí)�(xiàn)吸氣、壓縮和排氣�,因此它屬于�?nèi)菔秸婵毡�?/p>
羅茨泵的工作原理�
羅茨泵在泵腔�(nèi),有二�(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一�(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一�(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)�(yùn)�(dòng)。在�(zhuǎn)子之�,轉(zhuǎn)子與泵殼�(nèi)壁之�,保持有一定的間隙,可以實(shí)�(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)�。由于羅茨泵是一種無(wú)�(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很�,故�、中真空泵需要前�(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身�(jié)�(gòu)和制造精度外,還取決于前�(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用�
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓�(fēng)�(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從�(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0�(nèi),再�(jīng)排氣口排�。由于吸氣后v0空間是全封閉狀�(tài),所�,在泵腔�(nèi)氣體�(méi)有壓縮和膨脹�
各種真空泵的工作原理
但當(dāng)�(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)�(guò)排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)�(zhuǎn)子繼�(xù)�(zhuǎn)�(dòng)�(shí),氣體排出泵��
旋片式真空泵工作原理�
旋片式真空泵(�(jiǎn)�(chēng)旋片�)是一種油封式�(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍�101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前�(jí)�。它已廣泛地�(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍�、電子、化�、輕�、石油及�(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門(mén)�
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣�(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣�。但它不適于抽除含氧�(guò)高的,對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油�(huì)起化�(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣��
旋片泵是真空技�(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單�(jí)和雙�(jí)兩種。所謂雙�(jí),就是在�(jié)�(gòu)上將兩�(gè)單級(jí)泵串�(lián)起來(lái)。一般多做成雙級(jí)�,以獲得較高的真空度�
旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓�(qiáng)�1333Pa�1.33Pa�1.33×10-1(Pa)�,其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%�50%�20%�
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)�、旋�、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一�(gè)�(zhuǎn)�,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔�(nèi)表面相切(二者有很小的間�),轉(zhuǎn)子槽�(nèi)裝有帶彈簧的二�(gè)旋片。旋�(zhuǎn)�(shí),靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的�(nèi)壁保持接觸,�(zhuǎn)子旋�(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑�(dòng)�
兩�(gè)旋片把轉(zhuǎn)�、泵腔和兩�(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,�(dāng)�(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)�(shí),與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大�,正處于吸氣�(guò)�。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小�,正處于排氣�(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小�,正處于壓縮�(guò)�。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨�),氣體壓�(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A�(nèi)的壓�(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕�(shí),即�(zhuǎn)至空間B的位�,氣體開(kāi)始被壓縮,容積逐漸縮小,最后與排氣口相�。當(dāng)被壓縮氣體超�(guò)排氣壓強(qiáng)�(shí),排氣閥被壓縮氣體推�(kāi),氣體穿�(guò)油箱�(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)�(yùn)�(zhuǎn),達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一�(jí)(低真空級(jí)),由低真空級(jí)抽走,再�(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中,即組成了雙�(jí)�。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)�(lái)�(fù)�(dān),因而提高了極限真空��
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